据同花顺（300033）iFind，芯源微（688037）10月22日ETF资金当日净流出1.18亿元，3日累计净流出2.18亿元，5日累计净流入5593.11万元，20日累计净流入6.19亿元，60日累计净流入20.12亿元。
近日ETF资金流向一览
| 统计周期（883436） | 净流入/流出（万元） |
|---|---|
| 当日 | -11829.79 |
| 3日累计 | -21756.48 |
| 5日累计 | 5593.11 |
| 20日累计 | 61901.29 |
| 60日累计 | 201241.92 |
从重仓该股的ETF资金数据来看，持仓占比最高的ETF为科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710），持仓占比为6.59%，申购资金净流入0.00万元，持仓占比第二的ETF为科创半导体ETF华夏（588170），持仓占比为6.58%，申购资金净流出7920.91万元。
从申购净流入资金排名数据来看，申购资金净流入最多的ETF为科创100ETF鹏华（588220），持仓占比为3.21%，申购资金净流入556.03万元。申购资金净流出最多的ETF为科创半导体ETF华夏（588170），持仓占比为6.58%，申购资金净流出7920.91万元。
重仓芯源微（688037）的ETF申购资金流向
| ETF代码 | ETF名称 | 持仓占比 | 申购资金净流入/流出（万元） |
|---|---|---|---|
| 588710 | 科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710） | 6.59% | 0.00 |
| 588170 | 科创半导体ETF华夏（588170） | 6.58% | -7920.91 |
| 589020 | 科创半导体设备（884229）ETF鹏华 | 6.55% | -396.88 |
| 588500 | 科创100增强ETF易方达（588500） | 4.06% | +15.87 |
| 588900 | 科创100ETF南方（588900） | 3.63% | 0.00 |
| 562590 | 半导体设备ETF华夏（562590） | 3.38% | -244.14 |
| 560780 | 半导体设备ETF广发（560780） | 3.36% | -506.92 |
| 589950 | 科创100ETF富国（589950） | 3.33% | 0.00 |
| 589980 | 科创100ETF汇添富（589980） | 3.32% | 0.00 |
| 588120 | 科创100ETF国泰（588120） | 3.31% | 0.00 |
