江丰电子取得一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法专利,抛光后的拼接型高纯铝管靶表面粗糙度符合要求
2024年3月25日消息,据国家知识产权局公告,宁波江丰电子(300666)材料股份有限公司取得一项名为“一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法“,授权公告号CN115464543B,申请日期为2022年10月。
专利摘要显示,本发明提供一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法,所述抛光方法包括对拼接型高纯铝管靶表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理和百洁布处理,得到抛光后的拼接型高纯铝管靶;所述拼接型高纯铝管靶从内至外依次包括304不锈钢内管、铟焊料层和高纯铝管;所述高纯铝管的纯度≥99.9wt%。本发明所述抛光方法操作简单,抛光后的拼接型高纯铝管靶表面粗糙度符合要求,并且纹路一致,达到了铝管靶的溅射使用要求,具有大规模工业化推广应用前景。
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