华海清科申请晶圆清洗装置专利,防止刮伤晶圆
2024年3月16日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置以及晶圆清洗方法“,公开号CN117711988A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆清洗装置以及晶圆清洗方法,晶圆清洗装置包括:槽体,其内部形成有供晶圆清洗的容置腔;清洗组件,包括位于晶圆两侧的滚刷;支撑组件,其位于所述清洗组件的下方并与晶圆边缘接触,用于支撑并限定晶圆在竖直平面内旋转;其中,所述支撑组件包括主动轮和测速轮,所述测速轮配置有制动件,所述制动件用于控制所述测速轮停止旋转。本发明提供的晶圆清洗方案为测速轮配置了制动件,测速轮的转动轴与制动件的转子相连,当冲洗完成后通过制动件对测速轮进行制动,使得测速轮可以及时止停,防止刮伤晶圆。
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